Дызайн і выраб комплексных схем: ад канцэпцыі да рэалізацыі
Працэс вытворчасці інтэграваных схем (ICS) - гэта складанае і далікатнае падарожжа, якое пачынаецца з канцэпцыі канцэптуальнага дызайну і заканчваецца вытворчасцю канчатковага прадукту.Для дызайнераў ІС глыбокае разуменне кожнага аспекту дызайну і вытворчасці з'яўляецца не толькі асновай для дасягнення высокапрадукцыйных комплексных прадуктаў, якія адпавядаюць чаканым патрабаванням прыкладання, але і ключом да выбару правільнага вытворцы электронных схем для задавальнення стандартаў якасці і выдаткаўбюджэты..Падчас гэтага працэсу ёсць некалькі ключавых крокаў, якія дызайнеры павінны мець на ўвазе.
Развіццё базавых пласцін высокай чысціні
Краевугольным каменем інтэграванага ланцуга з'яўляецца асноўная платформа, платформа, якая нясе ўсе элементы ўбудаванай схемы.Якасць пласціны непасрэдна ўплывае на кансістэнцыю прадукцыйнасці канчатковага прадукту, таму вельмі важна выбраць паўправадніковыя матэрыялы высокай чысціні.Метад Чохральскага-гэта класічны метад, які выкарыстоўваецца для атрымання высокапамерных аднакрышталяў-крэмнійных зліткаў.Працэс заключаецца ў нагрэве і плаўленні электроннага крэмнію пры высокай тэмпературы каля 1500 градусаў Цэльсія, а потым павольна астуджаючы яго на працягу некалькіх дзён, каб утварыць форму, якую можна выразаць у вялікія крэмніевыя зліткі з тонкімі пласцінкамі.Хоць гэты крок займае шмат часу, вельмі важна забяспечыць якасць пласцін, таму што толькі якасныя асноўныя пласціны могуць забяспечыць надзейнасць і прадукцыйнасць убудаваных схем.
Складзеная канструкцыя: тонкі пласт апрацоўкі па пласце
Убудаваныя схемы пабудаваны шляхам кладкі некалькіх кампанентаў, такіх як кандэнсатары, дыёды і транзістары, пласт па пласце на паўправадніковым субстраце.Гэтыя кампаненты могуць быць лёгка пабудаваны з выкарыстаннем уласцівасцей N-тыпу і паўправаднікоў P-тыпу.Поўная інтэграваная схема можа ўтрымліваць ажно 30 і больш пластоў, а пабудова кожнага пласта патрабуе дакладнага кантролю.Каб дасягнуць гэтай мэты, спецыфікацыя месцаў P-тыпу і N-тыпу для кожнага пласта павінна быць выразна ўстаноўлена, каб забяспечыць дакладнасць на кожным наступным этапе.
Дакладная апрацоўка кожнага пласта дасягаецца з дапамогай метадаў тручэння - працэсу, які ўключае ў сябе стварэнне геаметрычных формаў і ліній у пэўных месцах.Акрамя таго, мадыфікацыі пласцін могуць ажыццяўляцца шляхам адкладу, тручэння або допінгу.Адклад - гэта працэс фарміравання тонкай плёнкі матэрыялу на пласціне, альбо фізічна, альбо праз хімічную рэакцыю.Праграма - гэта працэс, які выкарыстоўваецца для выдалення лішняга матэрыялу, звычайна выкарыстоўваючы тэхналогію рэактыўнага іёна (RIE).Допінг змяняе праводнасць матэрыялу, уводзячы дадатковыя атамы ў паверхню пласціны, утвараючы матэрыялы N-тыпу і P-тыпу.